【国家标准】电子工业用四氯化硅

本网站发布时间： 2021-02-01

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标准简介

本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

起草人：
徐德张国光黄娣刘畅杨剑赵雄楚东旭王春英戴帅张竞黄国菲廖恒易陈艳珊杨利于青玉方华曹作斌曲庆陈鹰李春华黄辉谭鹏程邓远方周鹏云徐龙赵帅德唐霞梅
起草单位：
湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子工业用四氯化硅