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GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 被代替 发布日期 :  2007-09-11 实施日期 :  2008-02-01

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。 本标准检测杂质浓度的有效范围:0.002×10-9~100×10-9。

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GB/T 5252-2006 锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法 被代替 发布日期 :  2006-07-18 实施日期 :  2006-11-01

本标准适用于位错密度0 cm-2~100 000 cm-2 的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量。观察面为(111)、(100)和(113)面。

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GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量方法 被代替 发布日期 :  2006-07-18 实施日期 :  2006-11-01

本标准适用于位错密度为(0~100 000)个/cm2 的砷化镓单晶的位错密度的测量。检测面为{111}面和{100}面。

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GB/T 4700.2-1988 硅钙合金化学分析方法 EDTA滴定法测定钙量 废止转行标 发布日期 :  1988-09-20 实施日期 :  1990-01-01

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GB/T 4700.4-1998 硅钙合金化学分析方法 磷钼蓝分光光度法测定磷量 废止转行标 发布日期 :  1998-12-07 实施日期 :  1999-07-01

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GB/T 4700.5-1998 硅钙合金化学分析方法 红外线吸收法测定碳量 废止转行标 发布日期 :  1998-12-07 实施日期 :  1999-07-01

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GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 废止 发布日期 :  1984-03-28 实施日期 :  1985-03-01

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