标准详细信息 去购物车结算

【国家标准】 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

本网站 发布时间: 2024-03-01
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!   查看详情>>
标准简介标准简介

文前页下载

适用范围:

本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。本标准测定碳、氧含量的有效范围从5×1014 atoms·cm-3(0.01 ppma)到硅中代位碳和间隙氧的最大固溶度。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 35306-2017

  • 标准名称:

    硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

  • 英文名称:

    Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
  • 标准状态:

    被代替
  • 发布日期:

    2017-12-29
  • 实施日期:

    2018-07-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    77.040
  • 中标分类号:

    H17

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    12 页
  • 字数:

    16 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    张云晖 韩小月 毛智慧 赵建为 刘晓霞 王桃霞 田洪先 刘明军 银波 刘国霞 蔡延国 秦榕 童孟 钱津旺 杨红燕
  • 起草单位:

    昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、陕西天宏硅材料有限责任公司
  • 归口单位:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 提出部门:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 发布部门:

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 推荐标准
  • 国家标准计划