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【国家标准】 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

本网站 发布时间： 2019-06-03
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标准简介标准简介

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适用范围：

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 1557-2006

  • 标准名称：

    硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

  • 英文名称：

    The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2006-07-18

  • 实施日期：

    2006-11-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040.01

  • 中标分类号：

    H17

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    12 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    梁洪 覃锐兵 王炎

  • 起草单位：

    峨眉半导体材料厂

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会

  • 提出部门：

    中国有色金属工业协会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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