本文件规定了奇数沟千分尺的型式与基本参数、通则、检验方法、标志与包装。本文件适用于分度值为0.001 mm、0.002 mm、0.01 mm，测量上限不大于100 mm的奇数沟千分尺的设计、制造与检验。

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本文件规定了几何精度检测与验证的基本概念、测量基础、术语、符号、测量条件和测量程序等内容。
本文件适用于产品的尺寸、形状、位置、表面结构等几何特征的检测与验证。

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本文件规定了应用最大实体要求和最小实体要求的检测与验证过程一般规定及检测用夹具设计的一般要求。
本文件适用于采用功能量规和夹具对应用最大实体要求、最小实体要求时的被测要素和/或基准要素的检测与验证。

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本文件规定了尺寸验收及几何误差的评定操作。针对不同的目标任务（离线、在线检验），给出了产品尺寸合格性评定、几何误差评定方法以及相关缺省原则和形状误差、方向误差、位置误差的最小区域判别法。
本文件适用于产品的尺寸、形状、方向、位置、跳动等几何特征的检测与验证。

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本文件规定了生产过程中几何特征（尺寸、表面结构)的在线检测与验证（以下简称“检验”)要求。描述了基于GPS的在线要素提取、滤波（表面误差分离)、拟合、评估、合格性判断以及缺省操作规范的方法。
本文件适用于生产过程中尺寸、表面结构特征的在线检测与验证。

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本文件界定了GPS提取的基本术语，规定了GPS提取中使用的基本操作框架及采样和重构的概念，同时规定了几种基本几何体的主要采样方案。

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本文件规定了高度卡尺（带有机械或数字显示）最重要的设计和计量特性。

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本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。

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本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。

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