本文件描述了在透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜中电子能量损失谱的能量步长和能量标尺的校准程序。
本文件适用于进行元素分析之前的电子能量损失谱的校准，校准能量范围在0 eV～3000 eV。
本文件适用于分析薄试样透射电子的电子能量损失谱，不适用于分析块体试样背散射电子的电子能量损失谱。

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本文件描述了电子探针测量稀土矿物成分的标样选择、分析测试条件的选择、干扰峰修正、分析步骤、结果处理和检测报告。
本文件适用于稀土矿物的电子探针定量分析，也适用于其他稀土化合物的电子探针定量分析。

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本文件描述了用扫描电镜测量各类金制品中金覆盖层厚度的方法。
本文件适用于25 nm~50μm 的金覆盖层厚度的测定。其他厚度金覆盖层的测量参照执行。
注:实际可测量的最小厚度受扫描电镜的图像分辨率、放大倍数等设备性能参数以及试样制备技术、导电性等影响。

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本文件界定了扫描电子显微术(SEM)在实际应用中使用的术语。包括基础术语和按不同技术内容分类的术语,也包括已经在ISO 23833中定义的术语。
本文件适用于所有有关SEM实际应用中的标准化文件。另外,本文件的某些术语,也适用于相关领域的文件[例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等]。

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本文件规定了电子探针测量硫化物矿物成分的仪器设备、试样制备、标样、分析测试条件的选择、谱线重叠修正、分析步骤、结果处理和检测报告。本文件适用于在电子束轰击下稳定的硫化物矿物以及砷化物、锑化物、铋化物、碲化物、硒化物等矿物的电子探针定量分析。本文件适用于以电子探针进行的定量分析，也适用于安装了波谱仪的扫描电子显微镜进行的定量分析。

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本标准规定了用电子探针测定碳钢和低合金钢（其他合金元素质量分数小于2%）中碳含量的校正曲线法。本标准包含试样制备、X射线检测、校正曲线建立以及碳含量检测不确定度的评估。本标准适用于测定碳的质量分数小于1%的钢中碳含量，当含碳量高于1%时检测准确度会受到很大的影响，不适用于本标准。 本标准适用于垂直入射方式和波谱仪，不适用能谱仪。

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本标准规定了利用SEM和EDX分析单壁碳纳米管粗产品及纯化后粉末或薄膜产品的形态、元素组成、催化剂和其他无机杂质的测试方法。
本标准适用于单壁碳纳米管的特性分析，亦可用于多壁碳纳米管（multiwall carbon nanotubes，简称MWCNTs）的特性分析。

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本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10　nm～500　nm的点或线的间距。

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本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的特性参数。
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。

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本标准规定了单壁碳纳米管的透射电子显微术表征形貌的方法，及识别单壁碳纳米管样品中其他材料元素组成的能谱法。
本标准适用于检测单壁碳纳米管的基本结构，包括形貌、缺陷、直径分布、管束大小和取向、结晶情况，以及元素组分和手性分析等。

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本标准规定了飞行器靶场跟踪测试试验中使用的光电跟踪测量设备的通用技术要求、检验规则、交货准备要求以及主要性能试验方法。
本标准适用于飞行器靶场跟踪测试试验中使用的光电跟踪测量设备的设计、生产、试验和验收。
注： 在本标准中不发生歧义的情况下光电跟踪测量设备简写为设备。

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本标准规定了航天器发射平台基准信息的测量中使用的方位垂直传递装置的通用技术要求、检验规则、交货准备要求以及主要性能检验方法。
本标准适用于航天器发射平台基准信息的测量中使用的方位垂直传递装置的设计、生产、试验和验收。

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本文件描述了用透射电子显微术测定线状晶体表观生长方向的方法。
本文件适用于通过各种方法制备的所有种类的线状晶体材料，也适用于测定在钢、合金和其他材料中析出的类似于棒状或多边形第二相颗粒的一个轴的方向。受透射电子显微镜（TEM)的加速电压和样品自身等条件的制约，本文件适用于直径（或厚度或宽度)为几十纳米到一百纳米左右的晶体材料。本文件不适用于测定折叠、扭曲、旋转状态的线状晶体。
注： 在本文件中，线状晶体、带状晶体、针状第二相颗粒等均属于广义上的线状晶体。

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本文件描述了应用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜（TEM/STEM)技术测定金属材料中纳米级第二相颗粒数密度的方法。
本文件适用于测定金属材料中弥散分布、粒径在几纳米至几十纳米范围的第二相颗粒的数密度。被测颗粒的平均尺寸宜在透射电镜试样厚度的约1/3以下，且试样中的颗粒在透射电镜图像上没有互相重叠或很少重叠。颗粒尺寸不在这个范围的试样可参照执行，其他晶体材料可参照执行。
本方法不适于测定聚集成团的第二相颗粒的数密度。
注1:可测定的最小颗粒尺寸取决于所用TEM/STEM设备的分辨率和采用的实验技术。
注2:待测定的第二相颗粒尺寸通常在5 nm~40 nm范围。
注3:TEM图像上若出现第二相颗粒重叠的情况，将增大颗粒计数的不确定度。

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本标准规定了用电子探针测定碳钢和低合金钢（铁质量分数大于95%）中硅、锰含量的校准曲线法。本标准适用于电子探针波谱仪，不适用于能谱仪。带波谱仪的扫描电镜可以参照使用。

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