【国家标准】 微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
本网站 发布时间:
2025-09-25
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适用范围:
本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的特性参数。
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。
标准号:
GB/T 20726-2025
标准名称:
微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
英文名称:
Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS)for use with a scanning electron microscope (SEM)or an electron probe microanalyser(EPMA)标准状态:
即将实施-
发布日期:
2025-08-29 -
实施日期:
2026-03-01 出版语种:
中文简体
替代以下标准:
被以下标准替代:
引用标准:
采用标准:
《微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法》 IDT 等同采用
- 其它标准
- 推荐标准
- GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
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