本文件适用于测定气体混合物成分的气体分析器。本文件规定了气体分析器(以下简称分析器)术语、定义、要求和试验方法。本系列标准中其他部分,例如GB/T 18403.2,描述了特殊类型(利用高温电化学传感器)的分析器。本文件与GB/T 6592和IEC 60770中的规定保持一致。本文件适用于固定安装在任何场所(室内或室外)的分析器,也适用于试样处理系统和原位测量技术的分析器。本文件适用于由同一个制造商提供的整套分析器,其中包括分析器所有的机械、电气和电子部件。同样也适用于不同制造商提供的传感器单元和电子单元。 为了达到本文件的目的,由制造商提供或规定使用的任何交流或直流稳压电源,无论是否与分析器安装集成在一起,均被视为分析器的一部分。安全要求参见IEC 610101的相关规定。如果试样中有一种或多种成分是易燃的,且存在空气或含有氧或其他氧化成分的气体混合物时,则易反应成分的浓度范围被限制在易燃范围之外。用于过程控制系统中模拟直流和气动信号的标准范围参见IEC 603811和IEC 60382的相关规定。选择影响量测试值的方法参见IEC 60654相关规定。分析器的文件要求参见IEC 61187的相关规定。有关量、单位和符号的一般原则参见ISO 310,并见ISO 1000。本文件不适用于与分析器联用的记录仪、模数转换器或数据采集系统等附属装置。但是当两个或更多分析器结合在一起,作为一个系统出售,且只提供一个电子单元来连续测量若干个参数时,这些读出部件被认为是分析器的一部分,同样与分析器结合在一起的电动势电流或电动势电压转换器也包括在内。本文件的目的:--规定与连续测量气体成分的分析器性能有关的通用术语和定义;--统一用于制造和检验这类分析器性能特性的方法;--规定了确定功能特征所需要进行的试验及试验方法;--提供基本资料,以支持ISO 9001质量保证标准的应用。
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本标准规定了用安装在扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分,因此,本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法,本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1%的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。
本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。
注: 当没有重叠峰,并且相应的特征X射线被强烈地激发时,能谱仪也可以测量质量分数在0.1%水平的元素。本标准主要应用于表面平整试样的定量分析,基本方法也适用于表面不平整试样的分析,但会引入附加的不确定度分量。
目前没有公认的轻元素的准确能谱仪(EDS)定量分析方法,以下是几种常用于轻元素分析的EDS方法:
a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录D中所述的原因,这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。
b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素(Z>10)结合时,该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。
c) 通过差值法计算浓度,即用100%减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用,并且还需要精确测定样品中的其他元素。
附录D总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪(WDS),可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。
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