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GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 现行 发布日期 :  2018-09-17 实施日期 :  2019-01-01

本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。

定价: 38元 / 折扣价: 33 加购物车

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