【国家标准】制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

本网站发布时间： 2019-01-02

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标准简介

本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。

标准号：
GB/T 36646-2018
标准名称：
制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
英文名称：
Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
标准状态：
现行
发布日期：
2018-09-17
实施日期：
2019-01-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备