本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂。

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本文件规定了半导体石英坩埚生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体石英坩埚生产用高纯石英砂。

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本文件规定了智慧型半导体激光治疗仪（以下简称半导体激光治疗仪）的组成、工作条件及运行环境、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签与使用说明书、包装、运输与贮存。本文件适用于符合3.1定义的，符合GB/T7247.1中医用治疗激光设备要求的智慧型半导体激光治疗仪的研制、生产和交付，不适用于诊断、手术类设备要求。

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本文件适用于半导体与电子领域封装用高精度智能视觉检测机。

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本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚。

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本文件规定了半导体芯片分选机的术语和定义、产品分类、产品结构、参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体芯片分选机（以下简称“产品”）的生产和检验。

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本文件适用于半导体器件加工。

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本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

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本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于100mm、125mm、150mm、200mm、300mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。

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本文件规定了半导体光学晶圆的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于半导体光学晶圆，主要包括图案化黑铬板产品、多通道光谱传感器产品、TGV产品等。

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本文件规定了半导体式车载冷暖箱的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存。本文件适用于由电池或汽车内电源供电的额定电压不超过15V的半导体式车载冷暖箱（以下简称“冷暖箱”）。

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本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。

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本文件规定了半导体实验室恒湿温试验管理平台的术语和定义、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体实验室恒湿温试验管理平台的设计及使用。

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本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验。

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本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。

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