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T/CAMS 89-2022 基于OPC UA的通信测试方法 现行 发布日期 :  2022-01-25 实施日期 :  2022-03-01

本文件适用于工业通信过程中的传感器、设备、应用软件之间的通信一致性测试

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T/EDASQUARE 009-2024 OPC结果校验软件输出数据格式规范 现行 发布日期 :  2024-09-21 实施日期 :  2024-12-22

本文件规定了OPC结果仿真验证软件建模的输出数据格式。本文件适用于晶圆制造领域,包括晶圆制造厂(涵盖存储和逻辑芯片制造)本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自0.18um技术节点开始,以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。随技术节点推进,标准需要涵盖更多技术要素。

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T/EDASQUARE 010-2023 光学临近校正(OPC)模型仿真软件建模输入数据结构 现行 发布日期 :  2023-09-10 实施日期 :  2023-09-10

规定了晶圆图形量测数据的基本格式、光刻工艺参数表的基本格式、所涉及底层薄膜结构参数的基本格式和所涉及光刻掩膜的三维结构参数基本格式等,对OPC建模仿真软件的输入数据结构进行了标准化规范。

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T/CNFPIA 1004-2022 木制品表面涂饰设备 基于 OPC UA 信息模型规范 现行 发布日期 :  2022-10-31 实施日期 :  2022-12-01

本文件规定了基于OPCUA的木制品表面涂饰设备信息集成互联网络架构以及信息模型。本文件适用于木制品表面涂饰设备各自以及相互之间的信息集成。

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KS C IEC 62541-14 OPC 통합 아키텍처 — 제14부: PubSub 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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KS C IEC 62541-5 OPC 통합 아키텍처 — 제5부: 정보 모델 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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KS C IEC 62541-7 OPC 통합 아키텍처 — 제7부: 프로파일 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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KS C IEC 62541-8 OPC 통합 아키텍처 —제8부: 데이터 접근 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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KS C IEC 62541-9 OPC 통합 아키텍처 — 제9부: 경보 및 조건 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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KS C IEC 62541-11 OPC 통합 아키텍처 —제11부: 과거 기록 접근 现行 发布日期 :  2021-12-27 实施日期 : 

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