【国家标准】电子工业用气体　三氟化硼

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GB/T 14603-2009
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。

读者对象：

半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

基本信息

标准号：
GB/T 14603-2009
标准名称：
电子工业用气体　三氟化硼
英文名称：
Gases for electronic industry—Boron trifluoride
标准状态：
现行
发布日期：
2009-10-30
实施日期：
2010-05-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
16 页
字数：
18 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云
起草单位：
核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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