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- GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
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适用范围:
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式:BF3。
相对分子质量:67.805(按2005年国际相对原子质量计算)。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式:BF3。
相对分子质量:67.805(按2005年国际相对原子质量计算)。
读者对象:
半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。
标准号:
GB/T 14603-2009
标准名称:
电子工业用气体 三氟化硼
英文名称:
Gases for electronic industry—Boron trifluoride标准状态:
现行-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-05-01 出版语种:
中文简体
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