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【国家标准】 电子工业用气体　磷化氢

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适用范围：

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：PH3。
相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

读者对象：

半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 14851-2009

  • 标准名称：

    电子工业用气体　磷化氢

  • 英文名称：

    Gas for electronic industry—Phosphine

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2009-10-30

  • 实施日期：

    2010-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    12 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    周泽义、孙福楠、周鹏云

  • 起草单位：

    中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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