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【行业标准】 磁性溅射靶材透磁率测试方法

本网站 发布时间： 2017-06-05
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适用范围：

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

基本信息

  • 标准号：

    YS/T 1124-2016

  • 标准名称：

    磁性溅射靶材透磁率测试方法

  • 英文名称：

    Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2016-07-11

  • 实施日期：

    2017-01-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.120.99

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    6 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    罗俊锋 万小勇 向磊 丁照崇 李勇军 何金江 徐国进 夏乾坤 刘晓 王越

  • 起草单位：

    有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 发布部门：

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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