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【国家标准】 电子工业用气体　氯化氢

本网站 发布时间： 2015-07-01
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适用范围：

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 14602-2014

  • 标准名称：

    电子工业用气体　氯化氢

  • 英文名称：

    Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2014-12-22

  • 实施日期：

    2015-07-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    18 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任

  • 起草单位：

    北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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