【国家标准】电子工业用气体　氯化氢

本网站发布时间： 2015-07-01

GB/T 14602-2014
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

基本信息

标准号：
GB/T 14602-2014
标准名称：
电子工业用气体　氯化氢
英文名称：
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
标准状态：
现行
发布日期：
2014-12-22
实施日期：
2015-07-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
18 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任
起草单位：
北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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