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【国家标准】 电子工业用气体　六氟化钨

本网站 发布时间： 2016-07-01
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适用范围：

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 32386-2015

  • 标准名称：

    电子工业用气体　六氟化钨

  • 英文名称：

    Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2015-12-31

  • 实施日期：

    2016-07-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    28 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云

  • 起草单位：

    中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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