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【国家标准】 靶材与背板结合强度测试方法

本网站 发布时间： 2021-10-08
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适用范围：

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 39163-2020

  • 标准名称：

    靶材与背板结合强度测试方法

  • 英文名称：

    Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2020-11-19

  • 实施日期：

    2021-10-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    19.060

  • 中标分类号：

    H22

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    22 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    丁照崇 陈明 赵永善 熊晓东 贺昕 林若虚 李勇军 张晓娜 曹欢欢 王云能 袁海军 李利利 曹晓萌 张静 王传军

  • 起草单位：

    有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

    中国有色金属工业协会

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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