【国家标准】微束分析　薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

本网站发布时间： 2022-07-01

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标准简介

本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注：由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

标准号：
GB/T 20724-2021
标准名称：
微束分析　薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
英文名称：
Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction
标准状态：
现行
发布日期：
2021-12-31
实施日期：
2022-07-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法