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【国家标准】 洁净室及相关受控环境　第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

本网站 发布时间： 2023-07-03
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适用范围：

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南：--表面目标洁净度等级；--清洁方法的适用性；--表面与清洁技术的相容性；--清洁方法适宜度的评估。本文件不包含以下事项：--清洁方法的分类；--洁净室内生产的产品；--与特定表面相关的具体清洁方法；--各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明；--材料特性的详细说明；--清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制；--污染物与表面间的黏附力，以及通常与时间和工艺相关的黏附过程；--粒子的其他特性，如静电、离子等；--分子污染物与表面的化学反应；--表面微生物；--放射性污染；--健康、安全；--环境因素，如：废物处理、排放等；--统计方法的选用。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 25915.13-2022

  • 标准名称：

    洁净室及相关受控环境　第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

  • 英文名称：

    Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2022-12-30

  • 实施日期：

    2023-07-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    13.040.35

  • 中标分类号：

    C70

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《洁净室及相关受控环境　第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    32 页

  • 字数：

    56 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    史苏娟、张秀春、孙玉澄、童广才、李金平、刘俊杰、郝胤博、左中杰、石小雷、冯昕、高正、胡茂从、陈思源、周斌、黄吉辉、韩辉、余小彪、邵森、刘璐、畅金学、温晓辉、杨鹏举、史婷、刘震、张旋、仝娜杰、刘永、杨云涛

  • 起草单位：

    深圳市丽风净化工程有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中电精泰电子工程有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、天津大学、中国电子工程设计院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、筑安检验检测中心有限公司、广东省洁净技术行业协会、上海市室内环境净化行业协会、中国合格评定国家认可中心、北京中邦兴业科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、南京工业大学、广东量化检测技术有限公司、安徽同益净化科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司

  • 归口单位：

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

  • 提出部门：

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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