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【国家标准】 焦深与最佳聚焦的测量规范

本网站 发布时间： 2019-05-01
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适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 17865-1999

  • 标准名称：

    焦深与最佳聚焦的测量规范

  • 英文名称：

    Specification for measuring depth of focus and best focus

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    1999-09-13

  • 实施日期：

    2000-06-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

    L56

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    15 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明

  • 起草单位：

    中国科学院微电子中心

  • 归口单位：

    由SEMI中国标准化技术委员会

  • 提出部门：

    中国科学院

  • 发布部门：

    国家质量技术监督局
  • 其它标准
  • 推荐标准

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