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【国家标准】 电子气体　卤化物气体

本网站 发布时间： 2026-02-02
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适用范围：

本文件规定了卤化物气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。
本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 14603-2025

  • 标准名称：

    电子气体　卤化物气体

  • 英文名称：

    Electronic gas—Halide gas

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-08-01

  • 实施日期：

    2026-02-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    32 页

  • 字数：

    52 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    赖晓峰、陈施华、杨军、李建新、郭晓俊、马建修、李嘉磊、王哲军、李智、孙芳、郭琼、侯鹏、钱吉、赵斌、吴希湖、刘春花、李文、李长健、彭佛晓、任如、徐正军、郑存强、倪志远、赵晓兰、董晓阳、陆岩柱、陈志强、王红球、黄韬、汤萍、吴禹强、何经余、李景升、赵银凤、施旖旎、陈艳珊、杨俊豪、王新喜、刘光宇、吕磊、李庭辉、郑秋艳、滕鑫胜、孙福楠、常侠、牛迪、殷昊、王若雯、赵跃、王军锋、李安林、方华、辛伶、杜雨桐、黄辉、李建浩、王祥科、张金波、李明、宫兵、张朋越、赵洁、杨扬仲夫、任希辉、何波、唐中伟、程化鹏、谈益强、尹乐乐、周鹏云、唐霞梅

  • 起草单位：

    昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、山东合益气体股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、福建福豆新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司、迪森尔(北京)科技有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、同方威视技术股份有限公司、北京鉴知技术有限公司、宁波从越科技创新有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、杭州云必技术有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、朗析仪器(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有限公司、贵州省产品质量检验检测院、宿州伊维特新材料有限公司、西南化工研究设计院有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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