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- GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
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标准号:
GB/T 14142-1993
标准名称:
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
英文名称:
Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques标准状态:
被代替-
发布日期:
1993-02-06 -
实施日期:
1993-10-01 出版语种:
中文简体
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