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【国家标准】 半导体制造用气体处理指南

本网站 发布时间： 2018-02-01
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适用范围：

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 34971-2017

  • 标准名称：

    半导体制造用气体处理指南

  • 英文名称：

    Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2017-11-01

  • 实施日期：

    2018-02-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    24 页

  • 字数：

    38 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云

  • 起草单位：

    中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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