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GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置

【国家标准】电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置

本网站发布时间： 2023-12-01

GB/T 10067.417-2023
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。

基本信息

标准号：
GB/T 10067.417-2023
标准名称：
电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置
英文名称：
Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations
标准状态：
现行
发布日期：
2023-05-23
实施日期：
2023-12-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
25.180.10
中标分类号：
K61

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
20 页
字数：
33 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李留臣、余维江、李琨、曹姣、谢萍、张永武、李明科、赵然、潘燕萍、杨昆、周正星、李小杰、陈佩娴、金星宇、尹丹、段春芳、杨祯
起草单位：
江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司
归口单位：
全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)
提出部门：
中国电器工业协会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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