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【国家标准】 电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置

本网站 发布时间： 2023-12-01
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适用范围：

本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 10067.417-2023

  • 标准名称：

    电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置

  • 英文名称：

    Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2023-05-23

  • 实施日期：

    2023-12-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    25.180.10

  • 中标分类号：

    K61

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    33 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    李留臣、余维江、李琨、曹姣、谢萍、张永武、李明科、赵然、潘燕萍、杨昆、周正星、李小杰、陈佩娴、金星宇、尹丹、段春芳、杨祯

  • 起草单位：

    江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司

  • 归口单位：

    全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)

  • 提出部门：

    中国电器工业协会

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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