【国家标准】微机电系统(MEMS)技术　术语

本网站发布时间： 2023-09-01

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

起草人：
顾枫宋秀敏李根梓孙立宁张大成夏长奉夏善红董全林张卫平胡晓东刘会聪邢朝洋刘奎熊斌张永斌张威崔波陈得民王玮冰明志茂李晓波 SHUMINZHANG 张宾张胜兵杨飞高峰
起草单位：
中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术 术语