【国家标准】 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

本网站发布时间： 2023-09-01

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标准简介

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

标准号：
GB/T 42191-2023
标准名称：
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
英文名称：
Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
标准状态：
现行
发布日期：
2023-05-23
实施日期：
2023-09-01
出版语种：
中文简体

起草人：
张威顾枫李根梓陈广忠李宋张亚婷张良陈立国林瑞梅李树成茅曙张宾王鹏李晓波许宙王玮冰陈路高峰明志茂曹万陈君杰王冰
起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、昆山传感器测控技术有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

GB/T 42191-2023