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- GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
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适用范围:
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。
标准号:
GB/T 31058-2014
标准名称:
电子工业用气体 四氟化硅
英文名称:
Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride标准状态:
现行-
发布日期:
2014-12-22 -
实施日期:
2015-07-01 出版语种:
中文简体
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