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【国家标准】 电子级三甲基铝

本网站 发布时间： 2019-01-02
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适用范围：

本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9Al
相对分子质量：72.09(按2013年国际相对原子质量计算)

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 36653-2018

  • 标准名称：

    电子级三甲基铝

  • 英文名称：

    Electronic grade trimethylaluminium

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2018-09-17

  • 实施日期：

    2019-01-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    18 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰

  • 起草单位：

    江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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