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- GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫
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适用范围:
本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。
标准号:
GB/T 18867-2025
标准名称:
电子气体 六氟化硫
英文名称:
Electronic gas—Sulphur hexaflouride标准状态:
即将实施-
发布日期:
2025-04-25 -
实施日期:
2025-11-01 出版语种:
中文简体
起草人:
陈兴龙、汤月贞、陈施华、林德荣、史婉君、钟卉菲、刘春花、李文、陈凯、史兰、黄秀荣、张艳志、张露露、陈艳珊、吕磊、谢世鹏、郭琼、孙福楠、依俊廷、杜雨桐、方华、黄辉、杨金山、鲍光强、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、赵洁、唐念、李丽、齐国栋、唐峰、吴俊杰、何波、唐中伟、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅起草单位:
昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、福建永晶科技股份有限公司、上海上芃电气有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、南大光电(淄博)有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、广东电网有限责任公司电力科学研究院、国网山东省电力公司电力科学研究院、深圳供电局有限公司、国网湖南省电力有限公司电力科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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