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- GB/T 26250-2025 电子气体 砷化氢
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适用范围:
本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了砷化氢的安全信息。
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。
标准号:
GB/T 26250-2025
标准名称:
电子气体 砷化氢
英文名称:
Electronic gas—Arsine标准状态:
现行-
发布日期:
2025-04-25 -
实施日期:
2025-11-01 出版语种:
中文简体
起草人:
马彬淇、马杰、潘华杰、任如、孙建、叶凯、乔洋、董建平、沈峰、史兰、崔雯、赵赛迪、吕磊、刘丹、孙福楠、郭琼、赖晓峰、王见见、依俊廷、杜雨桐、黄辉、李春华、杨金山、鲍光强、王大为、李明、常侠、牛迪、谈益强、尹乐乐、赵洁、何波、唐中伟、周鹏云、唐霞梅起草单位:
玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海栎智半导体科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、浙江省标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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