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本文件规定了集成电路用氧化铝陶瓷制品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路用氧化铝陶瓷制品的生产和采购。
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本文件规定了集成电路用聚氨酯类化学机械抛光垫(以下简称“抛光垫”)的分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存的要求。本文件适用于集成电路制造过程中晶圆化学机械平坦化处理所使用的聚氨酯抛光垫。
本文件规定了集成电路用高纯铝钪合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。本文件适用于集成电路制造用高纯铝钪合金靶材,以下简称铝钪合金靶。
本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方法。本文件适用于供应商自我评价、政府部门、行业组织、用户及第三方机构实施评价。其他相关评价活动可参照使用。
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