本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语,并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数,以及在操作这些仪表时,需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。
a) 本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。
b) 热阴极电离真空计通常用作参考标准,本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高真空的可溯源压力测量时,适于在制造商说明书中引述含有真空计相关参数和特征的信息。
c) 本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量,也给出了这些不确定度分量的评估指南。对于某些当前或未来的真空计来说,不确定度分量的清单可能并不全面。
d) 将电离真空计用作参考标准时,本文件是对ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的补充。
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本文件提出的《测量不确定度表示指南》(以下简称GUM)概念实施指南,适用于工业界对GPS领域内的测量标准和测量设备的校准以及工件GPS特性的测量。其目的是提供完成不确定度报告所需的全部信息,并为测得结果及其不确定度的比较(顾客与供方之间的关系)提供依据。
本文件的目的是支撑ISO 14253-1。本文件与ISO 14253-1均有利于公司内部所有技术职能部门对GPS规范(即工件特性的公差和测量设备计量特性的最大允许误差MPEs值)的解释。
本文件介绍的不确定度管理程序(Procedure for Uncertainty M Anagement—PUMA),是一个以GUM为基础,在不改变GUM基本概念的情况下评估测量不确定度的实用迭代程序。一般在下述情况用于评估测量不确定度和提供不确定度说明:
——单个测得结果;
——两个或多个测得结果的比较;
——将一个(或多个)工件或一个(或多个)测量设备得到的测得结果与给定规范(也就是测量仪器或测量标准的计量特性最大允许误差MPEs,或工件特性的公差限等)进行比较,按规范验证是否合格。
迭代法总体而言是建立在上限评估策略基础上的,即在不确定度评估的各阶段高估其不确定度,迭代次数控制高估的量。为防止基于测得结果做出的错误判定,有意识的高估而不是低估是必要的。高估的量还受测量项目的经济评估限制。
迭代法在公司的计量活动中是实现利益最大化和成本最小化的一种方法。迭代法既是一个在经济上进行自我调节的方法,也是一个为降低计量(制造)中的成本而改变或减小测量中现有不确定度的方法。迭代法使不确定度评估和不确定度概算中的风险、工作量和成本之间的协调成为可能。
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