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GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 现行 发布日期 :  2023-05-23 实施日期 :  2023-09-01

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

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GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法 现行 发布日期 :  2017-07-12 实施日期 :  2018-02-01

本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片(简称压力敏感芯片)的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。

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GB/T 20522-2006 半导体器件 第14-3部分:半导体传感器——压力传感器 现行 发布日期 :  2006-08-23 实施日期 :  2007-02-01

本标准规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。

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GB/T 18806-2002 电阻应变式压力传感器总规范 现行 发布日期 :  2002-08-09 实施日期 :  2003-04-01

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