本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

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本文件界定了表面化学分析领域扫描探针显微术方面的术语，并给出了相关缩略语清单(见附录A)。
本文件适用于表面化学分析中扫描探针显微术相关的教学、科研、设计、制造、编写相关技术文件和书刊及技术交流。

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本标准规定了用电子探针测定碳钢和低合金钢（铁质量分数大于95%）中硅、锰含量的校准曲线法。本标准适用于电子探针波谱仪，不适用于能谱仪。带波谱仪的扫描电镜可以参照使用。

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本文件描述了五种原子力显微术探针悬臂梁法向弹性常数的测量方法，测量的精度误差为5%~10%。每个方法分别隶属于尺寸法、静态实验法和动态实验法三类方法中的一种。方法的选择取决于分析所要达到的目的，便易性及现有的仪器条件。
本文件不适用于高于5%～10%的测量精度，如要获得高于5%~10%的测量精度，需要使用本文件未提及的更高精度的方法进行测量。

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本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。
本标准适用于测量直径大于15.9 mm的由外延、扩散、离子注入到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10 Ω～5 000 Ω。该方法也可适用于更高或更低阻值方块电阻的测量，但其测量精确度尚未评估。

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本文件提供了对电子探针显微分析仪（EPMA）进行常规诊断和实施质量保证程序的指南。仪器操作者定期使用该程序，确认仪器状态正常，或进行故障排查。它涵盖了所需参考物质的特性以及独立检测和全面评估EPMA系统主要组件性能所需的分析程序。
本文件所述分析程序旨在验证仪器对未知样品进行探索性分析、痕量分析和非常规工作（例如峰干扰）的能力，有别于仅用于衍射晶体位置和测试条件检验等单元素快速诊断程序。
本文件适用于电子探针和其他波谱仪（WDS）系统，该系统通过WDS检测到的特征 X 射线谱线进行波长和强度分析实现元素识别和定量分析。本文件不适用于能谱仪（EDS）进行的元素分析。

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GB/T 28630的本部分规定了白斑综合征核酸探针斑点杂交检测方法所需试剂与材料、仪器设备、操作步骤和结果判定。
本部分适用于对虾的成虾、幼虾、仔虾、幼体和受精卵的活体、冰鲜或冰冻产品和其他对白斑综合征病毒敏感的甲壳类生物白斑综合征病原的筛查、临床病症的确诊，不适用于对病毒感染活性的估测。

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GB/T 17363的本部分规定了用电子探针波谱仪测定黄金制品中主元素含量的方法。
本部分适用于测定成分比较均匀的黄金制品。也适用于测定厚度大于3 μm的镀金或包金制品的表层金含量。
本部分不适用于成分不均匀或有镀层的黄金制品整体金含量的测定。

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本标准规定了用电子探针测定碳钢和低合金钢（其他合金元素质量分数小于2%）中碳含量的校正曲线法。本标准包含试样制备、X射线检测、校正曲线建立以及碳含量检测不确定度的评估。本标准适用于测定碳的质量分数小于1%的钢中碳含量，当含碳量高于1%时检测准确度会受到很大的影响，不适用于本标准。 本标准适用于垂直入射方式和波谱仪，不适用能谱仪。

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本文件规定了使用电子探针定量分析无水碳酸盐矿物的仪器设备及材料、参考物质、试样制备、分析步骤、元素含量的计算、结果处理和分析报告。本文件适用于无水碳酸盐矿物的X射线波谱仪定量分析。

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本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309［2］和 ASTM E1508［3］中已有规范，不在本标准范围之内。

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本文件规定了使用点自动对焦探针测量表面结构的非接触式仪器的计量特性。

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本文件规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。

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本标准规定了子宫探针的结构形式、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于子宫探针，该产品供妇产科探测子宫颈方向和深度用。
本标准不适用于一次性使用子宫探针。

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