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- GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷
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标准号:
GB/T 40418-2021
标准名称:
电子特气 氟甲烷
英文名称:
Electronic specialty gas—Fluoromethane标准状态:
现行-
发布日期:
2021-08-20 -
实施日期:
2022-03-01 出版语种:
中文简体
起草人:
史婉君、张建君、方小青、孙福楠、付梦月、侯玲玲、郑秋艳、董云海、谭慧、褚人财、颜光清、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、程紧、叶相平、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、孙赟珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、徐娇、叶树全、赖晓峰、方艾黎、周鹏云、张亮起草单位:
浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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