【国家标准】电子特气　六氟丁二烯

本网站发布时间： 2022-03-01

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了六氟丁二烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业六氟丁二烯提纯制备的电子级六氟丁二烯。

起草人：
史婉君张建君李翔宇郭君付梦月侯玲玲褚人财李霞谭慧何经余曹素英傅铸红陈艳珊马建修曹小林杨俊豪王新喜孙猛陈洁吴靓方华于庆伟何波唐中伟黄辉宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静吴克安白占旗鬲春利谭依玲徐龙曹元洪周鹏云陈凯
起草单位：
浙江省化工研究院有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子特气 六氟丁二烯