【团体标准】辐射诱生缺陷的深能级瞬态谱测试方法

本网站发布时间： 2023-10-27

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标准简介

本文件规定了利用电容瞬态深能级瞬态谱（DLTS）测试辐射诱生缺陷的方法和程序。
本文件适用于包含P-N结、肖特基结、MOS结构的半导体器件中辐射诱生深能级缺陷的测试。

标准号：
T/CIE 145-2022
标准名称：
辐射诱生缺陷的深能级瞬态谱测试方法
英文名称：
Measurement method of radiation induced traps by deep level transient spectroscopy
标准状态：
现行
发布日期：
2022-12-31
实施日期：
2023-01-31
出版语种：
中文简体

【团体标准】 辐射诱生缺陷的深能级瞬态谱测试方法