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【行业标准】 硅抛光回收片

本网站 发布时间： 2015-05-15
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适用范围：

本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。

基本信息

  • 标准号：

    YS/T 985-2014

  • 标准名称：

    硅抛光回收片

  • 英文名称：

    Polished reclaimed silicon wafers

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2014-10-14

  • 实施日期：

    2015-04-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H80

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《硅抛光回收片规范》 MOD 修改采用

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    22 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    何良恩、刘丹、许峰、张海英、孙燕、曹孜、王飞尧、楼春兰、徐新华

  • 起草单位：

    浙江金瑞泓科技股份有限公司

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 其它标准
  • 推荐标准

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