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【国家标准】 银靶

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适用范围：

本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶）。其他用途的靶材也可参照使用。

读者对象：

生产、使用、销售银靶的企业和质量监督检验机构的技术人员

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 26307-2010

  • 标准名称：

    银靶

  • 英文名称：

    Silver target

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2011-01-14

  • 实施日期：

    2011-11-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.120.99

  • 中标分类号：

    H68

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    11 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩

  • 起草单位：

    北京有研亿金新材料股份有限公司

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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