【国家标准】电子工业用气体　锗烷

本网站发布时间： 2016-05-03

GB/T 31987-2015
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式：GeH4。
相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。

基本信息

标准号：
GB/T 31987-2015
标准名称：
电子工业用气体　锗烷
英文名称：
Gas for electronic industry—Germane
标准状态：
现行
发布日期：
2015-09-11
实施日期：
2016-05-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
12 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云
起草单位：
上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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