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【国家标准】 电子工业用气体　八氟丙烷

本网站 发布时间： 2016-05-03
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适用范围：

本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式：C3F8。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 31986-2015

  • 标准名称：

    电子工业用气体　八氟丙烷

  • 英文名称：

    Gas for electronic industry—Perfluoropropane

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2015-09-11

  • 实施日期：

    2016-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    12 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    林宇巍 陈熔 史婉君 方路 廖恒易 金向华 孙猛 方华 孙福楠 方正 崔学文 周鹏云

  • 起草单位：

    国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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