您的位置：
中国标准在线服务网 >>
全部标准分类 >>
国家标准 >>
G04 >>
GB/T 34326-2026 表面化学分析　深度剖析　AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法

【国家标准】表面化学分析　深度剖析　AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法

本网站发布时间： 2026-03-03

GB/T 34326-2026
即将实施
定价： 49元 / 折扣价： 42 元
加购物车
在线阅读

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

文前页下载

适用范围：

本文件描述了在俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)中使用惰性气体离子的离子束对准方法,以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两类:一类是用法拉第杯测量离子束流;另一类是成像方法。其中,法拉第杯法还规定了离子束流密度和束流分布的测量要求。
本文件适用于束斑直径小于或等于1 mm 的离子枪,但不包括深度分辨优化。

基本信息

标准号：
GB/T 34326-2026
标准名称：
表面化学分析　深度剖析　AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法
英文名称：
Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
标准状态：
即将实施
发布日期：
2026-01-28
实施日期：
2026-08-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：
G04

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《表面化学分析　深度剖析　AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
24 页
字数：
34 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
吴正龙、王海、范燕、徐鹏、王梅玲、张艾蕊
起草单位：
北京师范大学、中国计量科学研究院、季华实验室、国家纳米科学中心
归口单位：
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
提出部门：
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

其它标准

推荐标准

【国家标准】 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法