【国家标准】表面化学分析　二次离子质谱　用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

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标准简介

本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。

与材料的表面分析相关的实验室及技术研究机构的人员。

标准号：
GB/T 22572-2008
标准名称：
表面化学分析　二次离子质谱　用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
英文名称：
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
标准状态：
现行
发布日期：
2008-12-11
实施日期：
2009-10-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法