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【行业标准】 扩散炉能源消耗规范

本网站 发布时间： 2023-11-17
  • SJ/T 11451-2022
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

适用于工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

基本信息

  • 标准号：

    SJ/T 11451-2022

  • 标准名称：

    扩散炉能源消耗规范

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2022-10-20

  • 实施日期：

    2023-01-01

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    27.01

  • 中标分类号：

    L97

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    李补忠 吴秀祥 孙朋涛 张颖 郝晓明 赵永猛 刘月雷 张红妹 张生春 李琳

  • 起草单位：

    北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

  • 归口单位：

    中国电子技术标准化研究院

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    工业和信息化部
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