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【行业标准】 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

本网站 发布时间： 2014-04-04
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适用范围：

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。

基本信息

  • 标准号：

    YS/T 893-2013

  • 标准名称：

    电子薄膜用高纯钛溅射靶材

  • 英文名称：

    High-purity sputtering titanium target used in electronic film

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2013-10-17

  • 实施日期：

    2014-03-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.150.50

  • 中标分类号：

    H64

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    14 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东

  • 起草单位：

    有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 其它标准
  • 推荐标准

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