【国家标准】银靶材

本网站发布时间： 2025-09-28

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标准简介

本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。

起草人：
宋琦、何金江、万小勇、杨晓艳、闻明、吴卫煌、朱孜毅、袁学韬、张亚东、尚再艳、王传军、应宗波、张晓娜、徐国进、辛柏朴、刘丹
起草单位：
有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研亿金新材料(山东)有限公司、有研资源环境技术研究院(北京)有限公司
归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
提出部门：
中国有色金属工业协会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 银靶材