【国家标准】微束分析　扫描电子显微术　CD-SEM评定关键尺寸的方法

本网站发布时间： 2025-10-11

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标准简介

本文件规定了基于模型数据库(MBL)方法通过测长扫描电子显微镜(CD-SEM)成像来测定晶圆和光掩膜的关键尺寸(CD)值所需的结构模型、相关参数、文件格式和拟合程序。
本文件适用于试样的线宽测定，如晶圆上的栅极、光掩膜、单个孤立或密集排列的线特征图案，最小达10 nm。

标准号：
GB/T 46057-2025
标准名称：
微束分析　扫描电子显微术　CD-SEM评定关键尺寸的方法
英文名称：
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
标准状态：
即将实施
发布日期：
2025-08-29
实施日期：
2026-03-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法