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【国家标准】 硅晶锭尺寸的测定　激光法

本网站 发布时间： 2019-11-01
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适用范围：

本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 37213-2018

  • 标准名称：

    硅晶锭尺寸的测定　激光法

  • 英文名称：

    Test method for silicon brick dimension—Laser technology method

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2018-12-28

  • 实施日期：

    2019-11-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    13 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    宫龙飞、金善明、林清香、夏根平、唐珊珊、刘坤

  • 起草单位：

    苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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