【国家标准】电子级四甲基硅烷

本网站发布时间： 2025-12-05

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标准简介

本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。

起草人：
陈德义、徐文涛、曹可慰、茅炳荣、史泽远、陈功锋、张汝志、马瑞、孙明璐、李春华、孙鹏、张婷、赵俊莎、张健、鲁铮、李雪、高周、吴怡然、万烨、郝萍、郭威、魏良杰、毛国玉、汪晨、栗广奉、刘见华、刘立伟、张宝帅、孙丽丽、赵斌、曹益宁、陆平、张鹏、彭元兵、许胜霞、刘能巧、周礼、孟庆典、王艺潼、孙建、高朋、张佳瑶、钱瑶
起草单位：
南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、金宏气体股份有限公司、艾生科(江苏)化工科技有限公司、南大光电(淄博)有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子级四甲基硅烷